產品名稱：profile TC 1 3 5點

分度號：R/S/B/K-type

材質：石英、陶瓷、碳化硅

規格：依客戶要求定制

測溫范圍：0-1600℃

精度：I級

適用場所：擴散爐、氧化爐、LPCVD

行業內稱呼：分布熱偶、多點式熱偶、石英管熱偶、擴散爐熱偶