晶圓防爆真空固化爐
品牌:英鵬
型號:ZK-固化系列
價格:電儀/面議
產品用途:
本產品是一種用于半導體晶圓制造過程中對聚酰亞胺(PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的設備,烘箱溫度**可達450℃
性能特點:
1.真空度可達10 Pa
2.精體內氧含量:≤20ppm,提供氧含量檢測接口
3.日本優易控觸摸屏,升降溫斜率控制
4.內腔采用耐腐蝕SUS316不銹鋼材質制作
型號 : ZK-固化系列
內箱尺寸(H*W*D) : 20*20*40 30*30*60
控溫范圍:RT+20℃~450℃
溫度波動:±0.5℃
真 空 度:10pa
氧 含 量:≤20ppm
內箱材質:SuS316不銹鋼 Stainless Steel Plate
外箱材質: 鋼板靜電噴涂表面處理 Baked Painting Steel
保溫材料:硅酸鋁纖維棉 Aluminum silicate fiber cotton
保護裝置:聲光報警器 超溫保護器 Audible and visual alarm, Over Temp
功 率: 9.0 12.0
電 源 : AC380V±10%3中50HZ
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