設備特點：

1.        采用兩套獨立的電腦控制機械臂自動化作業；

2.        各槽配置獨立拋動系統，增加硅片和溶劑的摩擦。

3.        各槽配置鼓泡管路，均采用PFA材質管件制作。

4.        酸槽配置冷卻盤管，降低酸溶劑蒸發量；設置脊型缸蓋，杜絕酸蒸汽釋放到空氣中，缸蓋上設有噴淋系統。

5.        設備槽體均采用PVDF 6mm板材制作，耐酸堿性強。

6.        采用第三代**，全面完善的防酸防腐措施，保護到機器每一個角落。

7.        **全自動補液技術，做到集中供酸和排放。配置接水盤，防止槽體漏液污染車間環境。

8.        獨特的硅片干燥前處理技術，**硅片干燥不留任何水痕。

9.        成熟的硅片干燥工藝，多種技術集于一身。

10.    彩色大屏幕人機界面操作，方便參數設置及多工藝方式轉換

11.    售后服務：保修期一年，提供終身維護。