特征：測量范圍：300 x 150 x 150 mm

25公斤承載力

亞微米的光柵尺分辨率
平臺移動速度X-Y: 150 mm/秒; Z: 100 mm/秒
誤差映射：在XY平面非線性二維糾錯
超精密雙重放大光學系統
可編程多色環形燈(PRL)選項
TTL激光選項，具有自動聚焦和掃描功能
的圖像處理性能，快速、**、穩健
雙通道，數字式，1.4兆像素的單色相機; 4:1的比例
次像素精度： 1/10 - 1/50 pixel
強大的測量軟件和數據分析工具可供選擇
平均無故障工作時間 MTBF ≥ 8,000 小時

 Benchmark的應用范圍包括：

 半導體/電子

BGA, μBGA, CSP, 倒裝芯片, MCM, bump-on-die
引線框，引線接合
柔性線路板，連接器
SMT元件貼裝
錫膏/環氧數脂膠點
芯片載體和托盒
噴墨打印機墨盒
光纖組件和MEMs 

數據存儲
懸置件
滑塊和懸臂組(HGA)
磁盤介質基板

 精密注塑和機加工件

模具和刀具
燃料噴射部件
手表組件