熱式氣體質量流量控制器和流量計有哪些區別以及使用方法

熱式氣體質量流量控制器和流量計主要的區別在于：氣體質量流量控制器可以通過自身帶的閥門做PID調節程序，能夠自動的調節和控制閥門的開度，來達到控制氣體的質量流量。氣體質量流量計主要是通過傳感器，感應氣體的流量大小，并輸出到數據采集器。熱式氣體質量流量控制器和質量流量計的**優點就是檢測出來的實際數據，不會受到溫度和壓力的影響，實測數據用戶也無需在進行溫度和壓力補償的換算。

質量流量控制器（MFC）由流量傳感器、分流器通道、流量調節閥門和放大控制器等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩壓電源、數字電壓等。

LF系列的氣體質量流量控制器和質量流量計主要用于：擴散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入以及真空鍍膜設備、微反應裝置、混氣配氣系統等制造設備中，并廣泛應用于石油化工、制藥、冶金等行業。