化硅(SiC)緣何成為第三代半導體**重要的材料?
在半導體行業中,高純石墨主要是作為加熱器、支撐坩堝、隔熱罩等存,采用高純石墨做這些部件也是充分利用了高純石墨耐高溫這一特點。尤其是在SiC晶體生長的過程,石墨中的雜質更是晶體品質優劣的關鍵決定因素,我司石墨純度可達到5PPMW以下,滿足客戶生產環境中對石墨高純度的需求。
等靜壓石墨的典型特性:
極高的耐熱性和耐化學性
優異的抗熱震性
高導電性
高導熱性
隨溫度升高強度增加
易于加工
可以以非常高的純度生產 < 5 ppm