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碳化硅(SiC)緣何成為第三代半導(dǎo)體**重要的材料?
在半導(dǎo)體行業(yè)中,高純石墨主要是作為加熱器、支撐坩堝、隔熱罩等存,采用高純石墨做這些部件也是充分利用了高純石墨耐高溫這一特點(diǎn)。尤其是在SiC晶體生長(zhǎng)的過(guò)程,石墨中的雜質(zhì)更是晶體品質(zhì)優(yōu)劣的關(guān)鍵決定因素,我司石墨純度可達(dá)到5PPMW以下,滿(mǎn)足客戶(hù)生產(chǎn)環(huán)境中對(duì)石墨高純度的需求。
等靜壓石墨的典型特性:
極高的耐熱性和耐化學(xué)性
優(yōu)異的抗熱震性
高導(dǎo)電性
高導(dǎo)熱性
隨溫度升高強(qiáng)度增加
易于加工
可以以非常高的純度生產(chǎn) < 5 ppm
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