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產(chǎn)品概述：
錦正茂高低溫真空探針臺(tái)可進(jìn)行真空環(huán)境下的高低溫測(cè)試（4.2K~500K），可升級(jí)加載磁場(chǎng)，低溫防輻射屏設(shè)計(jì)，樣品臺(tái)采用高純度無氧銅制作，溫度均勻性更好，溫度傳感器采用有著良好穩(wěn)定性和重復(fù)性的PT100或者標(biāo)定過的硅二極管作為測(cè)溫裝置，支持光纖光譜特性測(cè)試，兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng)，器件的高頻特性(支持頻率上達(dá)67GHz)，探針熱沉設(shè)計(jì)，LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試，自動(dòng)流量控制，材料/器件的IV/CV特性測(cè)試等。
應(yīng)用范圍：
錦正茂高低溫真空探針臺(tái)應(yīng)用于高低溫真空環(huán)境下的芯片測(cè)試，材料測(cè)試，霍爾測(cè)試，電磁輸運(yùn)特性等。
可選附件：
t 防震桌
t 多級(jí)壓縮制冷機(jī)
t 機(jī)械泵/分子泵組/離子泵
t 射頻部件
t 各類型頻率真空接頭
t 各類DC探針、高頻探針、主動(dòng)式探針、電纜線等…
t 各類探針夾具
t Chuck運(yùn)動(dòng)裝置
t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)
t 1Mpa正壓系統(tǒng)
t 超高溫升級(jí)選件
t 超高真空升級(jí)選件
技術(shù)指標(biāo)：
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型號(hào) |
T81-50探針臺(tái) |
T80-50探針臺(tái) |
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制冷方式 |
液氦/液氮制冷 |
閉循環(huán)制冷機(jī) |
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腔體材質(zhì) |
無磁不銹鋼或者鋁合金 |
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真空度 |
真空上等高達(dá)10-8Pa |
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真空腔觀察窗尺寸 |
2inch（可選） |
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控溫范圍 |
4.2K-450K |
5K-450K |
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控溫分辨率 |
0.001K控溫儀相關(guān) |
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溫度穩(wěn)定性 |
0.1K控溫儀相關(guān) |
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降溫時(shí)間 |
40min |
150min內(nèi)，視制冷機(jī)功率定 |
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溫度傳感器 |
硅二極管、PT100（3個(gè)，樣品臺(tái)和探針臂和防輻射屏上各一個(gè)） |
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加熱電源 |
LVDC 低壓直流 |
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樣品臺(tái)材質(zhì) |
鍍金無氧銅 |
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樣品臺(tái)尺寸 |
直徑20-50mm，可選100mm |
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樣品臺(tái)平整度 |
≤7μm |
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樣品臺(tái)固定方式 |
固定的樣品臺(tái)（可升級(jí)隨位移臺(tái)移動(dòng)） |
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樣品臺(tái)振動(dòng)級(jí)別 |
≤50納米 |
≤1μm（三級(jí)減震） |
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探針臂數(shù)量 |
2個(gè)、4個(gè)、6個(gè)、8個(gè)可選 |
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探針臂機(jī)械精度 |
±12.5mm(可升級(jí)±25mm),精度1μm（可選） |
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探針種類 |
鎢、鈹銅、微波探針（可選高達(dá)67GHz的GSG探針） |
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探針調(diào)節(jié) |
真空波紋管外部調(diào)節(jié)，手動(dòng)控制 |
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放大倍數(shù) |
16~100X/20~4000X |
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顯微鏡行程 |
X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm |
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電力需求 |
220V 50-60Hz |
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