晶片規(guī)格:
2-12〞單、雙cassette
主要材料:
金屬骨架+PP/PVC殼體,槽體材質(zhì)PP/PVDF/PTFE
/石英
工藝槽功能:
循環(huán)過(guò)濾+加熱冷卻+供液
基礎(chǔ)工藝流程:
SPM→HQDR→SC-1→QDR→SC-2→QDR→DHF→QDR→IPA(可增減)
設(shè)備類(lèi)型:
手動(dòng)/半自動(dòng)/全自動(dòng)(定制)
Footprint : 7000 (W) x 2200 (D) x 2100(H) mm