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產(chǎn)品信息:
在實(shí)際得科研生產(chǎn)中,由于樣品/晶圓(Wafer)得尺寸越來越大,用于測試的探針臺(tái)相當(dāng)昂貴,我司根據(jù)客戶市場應(yīng)用自主研發(fā)的這款結(jié)構(gòu)小巧,功能實(shí)用,成本較低的簡易式探針臺(tái),在滿足基本測試功能基礎(chǔ)上,去除了非必要得部件,該探針臺(tái)系統(tǒng)包含:光學(xué)成像部分,隔振平臺(tái),探針座,四維調(diào)整載片臺(tái)(Chuck),真空吸附系統(tǒng);
創(chuàng)譜儀器可以根據(jù)客戶應(yīng)用搭建探針臺(tái),以達(dá)到更好得使用效果和性價(jià)比。
技術(shù)參數(shù):
◆結(jié)構(gòu)緊湊,功能實(shí)用,高性價(jià)比
◆可用于12寸以內(nèi)樣品測試
◆1微米以上電極/PAD使用
◆兼容高倍率電子顯微鏡/體式顯微鏡,可360°旋轉(zhuǎn)和微調(diào)升降
◆漏電流精度:10pA/100fa(屏蔽箱內(nèi))
◆精密絲杠/燕尾傳動(dòng)結(jié)構(gòu),線性移動(dòng),無回程差設(shè)計(jì)
◆應(yīng)用于高等院校/研究所/公司實(shí)驗(yàn)室使用
◆模塊化設(shè)計(jì),可以根據(jù)應(yīng)用增加和去除相應(yīng)模塊
◆多被用于晶圓測試、LED測試、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、太陽能電池片測試、材料表面電阻率測試等;
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