CL系列探針臺,晶圓測試探針臺
臺體規格:
尺寸:4英寸/6英寸/8英寸
水平旋轉:可360度旋轉,可微調15度,精度0.1度,帶角度鎖死裝置
X-Y移動行程:4英寸*4英寸/6英寸*6英寸
X-Y移動精度:10微米/1微米
樣品臺Z軸調節:可升降10mm
樣品固定:真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環
針座平臺:U型針座平臺,**多可放置6個探針座
背電極測試:樣品臺電學獨立懸空,4mm插孔可接背電極
外形尺寸:400mm長*400mm寬*600mm高/580mm長*480mm寬*600mm高
重量:約40千克/60千克
光學系統:
顯微鏡類型:單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡
放大倍率:16X-200X/20X-4000X
移動行程:X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸行程50.8mm
光源:外置LED環形光源/同軸光源
CCD:200萬像素/500萬像素/1200萬像素
探針座
X-Y-Z移動行程:12mm*12mm*12mm
移動精度:10微米/2微米/0.7微米/0.5微米
吸附方式:磁力吸附/真空吸附
線纜:同軸線/三軸線
漏電精度:10pA/100fA/10fA
固定探針:彈簧固定/管狀固定
接頭類型:BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子
針尖直徑:0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
針尖材質:鎢鋼/鈹銅
可選附件
加熱臺、顯示器、轉接頭、射頻測試配件、屏蔽箱、光學平臺、鍍金卡盤、光電測試配件、高壓測試配件、顯微鏡快速傾仰裝置、激光系統、探針卡夾具。
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