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廣州廣電計(jì)量檢測股份股份有限公司
主營:環(huán)境可靠性測試; NVH測試; AECQ100認(rèn)證; AECQ200認(rèn)證; AECQ101認(rèn)證; AECQ102認(rèn)證; 液態(tài)溫沖測試; DO-160測試; 振動(dòng)噪音測試; 異響測試; 六性設(shè)計(jì)與分析; 元器件篩選; 破壞性物理分析; 失效分析; 
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聚焦離子束(FIB)的具體應(yīng)用與發(fā)展

2021年05月04日舉報(bào)編輯打印
聚焦離子束(FIB)的具體應(yīng)用與發(fā)展
價(jià)格: 面議
起批量: 1 件起批
區(qū)域: 廣東 廣州 天河區(qū)
關(guān)鍵詞:
FIB測試  FIB  聚焦離子束  
聯(lián)系人: 詹** 先生
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詳細(xì)介紹

廣電計(jì)量可以做AEC-Q-100認(rèn)證報(bào)告,AEC-Q-101認(rèn)證報(bào)告,AEC-Q-102認(rèn)證報(bào)告, AEC-Q-104認(rèn)證報(bào)告,AEC-Q-200認(rèn)證報(bào)告,元器件篩選,破壞性物理分析,NVH測試

廣州廣電計(jì)量檢測股份有限公司(股票簡稱:廣電計(jì)量,股票代碼:002967)始建于1964,是原信息產(chǎn)業(yè)部電子602計(jì)量站,經(jīng)過50余年的發(fā)展,現(xiàn)已成為一家全國化、綜合性的國有第三方計(jì)量檢測機(jī)構(gòu),專注于為客戶提供計(jì)量、檢測、認(rèn)證以及技術(shù)咨詢與培訓(xùn)等專業(yè)技術(shù)服務(wù),在計(jì)量校準(zhǔn)、可靠性與環(huán)境試驗(yàn)、電磁兼容檢測等多個(gè)領(lǐng)域的技術(shù)能力及業(yè)務(wù)規(guī)模處于國內(nèi)**水平.

1、聚焦離子束技術(shù)(FIB

聚焦離子束技術(shù)Focused Ion beamFIB)是利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的離子束轟擊材料表面,實(shí)現(xiàn)材料的剝離、沉積、注入、切割和改性。隨著納米科技的發(fā)展,納米尺度制造業(yè)發(fā)展迅速,而納米加工就是納米制造業(yè)的核心部分,納米加工的代表性方法就是聚焦離子束。近年來發(fā)展起來的聚焦離子束技術(shù)FIB)利用高強(qiáng)度聚焦離子束對(duì)材料進(jìn)行納米加工,配合掃描電鏡(SEM)等高倍數(shù)電子顯微鏡實(shí)時(shí)觀察,成為了納米級(jí)分析、制造的主要方法。目前已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路修改、離子注入、切割和故障分析等

2. 聚焦離子束技術(shù)(FIB)可為客戶解決的產(chǎn)品質(zhì)量問題

1)在IC生產(chǎn)工藝中,發(fā)現(xiàn)微區(qū)電路蝕刻有錯(cuò)誤,可利用FIB的切割,斷開原來的電路,再使用定區(qū)域噴金,搭接到其他電路上,實(shí)現(xiàn)電路修改,**精度可達(dá)5nm

2)產(chǎn)品表面存在微納米級(jí)缺陷,如異物、腐蝕、氧化等問題,需觀察缺陷與基材的界面情況,利用FIB就可以準(zhǔn)確定位切割,制備缺陷位置截面樣品,再利用SEM觀察界面情況。

3)微米級(jí)尺寸的樣品,經(jīng)過表面處理形成薄膜,需要觀察薄膜的結(jié)構(gòu)、與基材的結(jié)合程度,可利用FIB切割制樣,再使用SEM觀察。

3. 聚焦離子束技術(shù)(FIB)注意事項(xiàng)

1)樣品大小5×5×1cm,當(dāng)樣品過大需切割取樣。

2)樣品需導(dǎo)電,不導(dǎo)電樣品必須能噴金增加導(dǎo)電性。

3)切割深度必須小于50微米。

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